技術(shù)編號：9546306
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。制造半導(dǎo)體等時使用的曝光裝置的照明使用例如紫外線。因此，在曝光裝置的照明中，將以高壓放電燈為代表的燈組合多個使用。另外，該曝光裝置使用作為接收來自多個燈的光來提高該光的均一1性的透鏡體的積分器(integrator)。這樣的燈采用與曝光裝置中尋求的光量相對應(yīng)的能力的燈，但在要以一個燈滿足該能力的情況下(即“1燈式的情況”)，萬一因故障等而不能從該燈射出光，則必須要中斷曝光作業(yè)本身。因此，通常進(jìn)行的是使用容量較小的多個燈使之能夠供給曝光裝置所要求的光量(例如...
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