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3dic互連器件及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9525624

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由于多種電子組件(諸如,晶體管、二極管、電阻器、電容器等)的集成密度的不斷 提高,半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)經(jīng)歷了快速的增長(zhǎng)。就絕大部分而言,集成密度的提高來自于最小部 件尺寸的不斷減小(諸如,縮小半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)至亞20nm節(jié)點(diǎn)),這使得更多的組件被集成 到給定的區(qū)域中。近來,隨著對(duì)于小型化、高速度、大帶寬、低功耗和低延時(shí)的需求的增長(zhǎng), 對(duì)于半導(dǎo)體管芯的更小以及更具創(chuàng)造性的封裝技術(shù)的需求也相應(yīng)的增長(zhǎng)。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)一步推進(jìn),已經(jīng)出現(xiàn)了諸如3D集成電路(3DIC...
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