技術(shù)編號：9492290
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(micro electro mechanical systems, MEMS)是通過半導(dǎo)體制造工藝同時整合電子、電機(jī)以及機(jī)械等各種功能于一微型元件或裝置內(nèi)，相較于以采用傳統(tǒng)組裝方式的麥克風(fēng)，微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)具有尺寸小、低電量耗損以及對于環(huán)境干擾(如溫度變化、振動、電磁干擾等)具備更好的抑制能力的優(yōu)點。請參考圖1，圖1為現(xiàn)有的電容式微機(jī)電麥克風(fēng)100的示意圖。如圖1所示，傳統(tǒng)的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)100包含一基板20、一娃基底30、一振膜40 (M...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。