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表面形狀測量方法以及其裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9457485

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本發(fā)明涉及測量三維物體的表面形狀的表面形狀測量方法以及表面形狀測量裝 置。例如尤其涉及適合使用光來非破壞、非接觸、高精度、寬傾斜角動態(tài)范圍地測量反射面 或者折射面由曲面構(gòu)成的光學(xué)元件的表面形狀測量方法以及表面形狀測量裝置。背景技術(shù) 以往,作為使用光來非破壞、非接觸且高精度地測量三維物體的表面形狀的技術(shù), 例如,如非專利文獻1以及美國專利第5, 398, 113號說明書(公報)(專利文獻1)所記載, 有如下的技術(shù),即,通過組合發(fā)出白色光的光源和雙光束干涉儀...
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