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一種su8列陣式微反應(yīng)池的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9452313

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SU8材料是1995年由IBM公司開(kāi)發(fā)出來(lái)的負(fù)性環(huán)氧膠,具有很高的紫外光敏特性,在制作塑性機(jī)械結(jié)構(gòu)、微流體器件、微通道結(jié)構(gòu)等MEMS方面獲得了廣泛的應(yīng)用。SU8是由雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂溶解于γ- 丁內(nèi)酯而形成的有機(jī)聚合膠體,陰平郡一個(gè)分子中漢以后8個(gè)環(huán)氧樹(shù)脂得名。除了主體樹(shù)脂外,SU8還含有光引發(fā)劑、添加劑和溶劑等成分。SU8焦磷過(guò)程主要分為兩步(I)SUS中的光引發(fā)劑吸收光子,發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成酸性催化劑;(2)酸性催化劑在熱能的輔助作用下催化分子間環(huán)氧基反應(yīng)...
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