技術(shù)編號(hào)：9450605
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明屬于光學(xué)元件面形檢測(cè)領(lǐng)域，具體涉及一種用于超大口徑面形檢測(cè)的懸掛 式擺臂輪廓儀。背景技術(shù) 超大口徑的光學(xué)元件的加工一般分為銑磨、研磨、拋光三個(gè)階段；銑磨階段，檢測(cè) 精度由銑磨機(jī)床控制；拋光階段，面形精度由干涉儀檢測(cè)監(jiān)控；研磨階段，由于面形反射率 較低且面形誤差較大無法采用干涉檢測(cè)，通常采用輪廓檢測(cè)。由于拋光階段的材料去除效 率低于研磨階段，為了提高反射鏡的加工效率，提高研磨精度、縮短拋光時(shí)間是提高加工效 率的有效手段；然而，限制研磨精度的因素主要來...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。