技術(shù)編號：9436615
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 MEMS的英文全稱為Micro-Electro-Mechanical System，中文名稱為微機電系統(tǒng)， 是指尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個 獨立的智能系統(tǒng)。MEMS技術(shù)因具有微型化、智能化、高度集成化和可批量生產(chǎn)的優(yōu)點，已廣 泛應(yīng)用于電子、醫(yī)學、工業(yè)、汽車和航空航天系統(tǒng)等領(lǐng)域。 在電子產(chǎn)品中，MEMS麥克風已成為中高端便攜式智能電子設(shè)備的首選，MEMS麥克 風的核心部件為MEMS麥克風芯片。目前，MEMS麥...
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