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基于顯微視覺的跨尺度幾何參數(shù)測量方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9429127

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隨著航空、航天、微電子領(lǐng)域的快速發(fā)展,多種功能零件向著空間三維結(jié)構(gòu)、特征 復(fù)雜多變、尺寸跨度大,由100 μm-10m的方向發(fā)展,如航天器固面天線反射器、超寬頻信號 發(fā)送/接受器、各類多功能電路板等在多種領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。然而,此類零件的制造精度要 求高達(dá)微米級,這不僅對精密制造技術(shù)提出要求,同時(shí)對現(xiàn)有精密測量技術(shù)提出了挑戰(zhàn);而 且,為保證功能此類零件須同時(shí)兼具微小特征與大尺寸結(jié)構(gòu),使得測量尺寸跨度大,導(dǎo)致準(zhǔn) 確測量的難度增加;此外,此類零件多具有三維結(jié)構(gòu),...
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