技術(shù)編號:9414982
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示設(shè)備制造,尤其涉及一種間隙調(diào)整裝置、利用該間隙調(diào)整裝置的間隙調(diào)整方法、以及包括該間隙調(diào)整裝置的傳送設(shè)備。背景技術(shù)現(xiàn)有工藝中,基板傳送經(jīng)過濕法刻蝕設(shè)備時(shí),刻蝕液體或氣體會(huì)對基板進(jìn)行噴淋沖刷,為了減小基板在傳送過程中的振動(dòng),通常需要采用雙滾輪結(jié)構(gòu)來對基板進(jìn)行支撐,以增強(qiáng)基板在傳送過程中的穩(wěn)定性?,F(xiàn)有技術(shù)中的雙滾輪結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)如圖1所示,下滾輪102位置固定,上滾輪101能夠相對于下滾輪102上下移動(dòng),上滾輪軸103和下滾輪軸104兩端分別設(shè)置有軸支撐...
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