技術編號：9411969
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 太陽能電池膜層質量對太陽能電池性能有關鍵性影響，高的膜層質量是保證電池 性能的必備要素，為了保證高的膜層質量，除了控制各種反應氣體的純度外，還要防止任何 的其它污染源。 當今工業(yè)上廣泛使用的PECVD系統(tǒng)，采用一對平板形狀相互平行的電極來激發(fā)等 離子體，并提供薄膜沉積或蝕刻表面。這兩個電極板分別為接地的正極和用來激發(fā)等離子 體的激發(fā)電極(負極)。常規(guī)的激發(fā)方式為射頻（RF)和極高頻（VHF)，當今工業(yè)上非微晶硅 等薄膜電池前電極一般采用BZ0等作為透明導...
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