技術(shù)編號(hào)：9259984
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。面形重構(gòu)技術(shù)主要是測量物體表面足夠多的獨(dú)立的點(diǎn)的高度，這些點(diǎn)組成線，SP可知道在這條線上的面形細(xì)節(jié)。足夠多且能夠覆蓋整個(gè)物體表面的線即可重構(gòu)物體表面。重構(gòu)物體表面面形的技術(shù)需求在精密工藝領(lǐng)域非常重要。比如在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，使用位置敏感器件(PSD)等精密儀器掃描得到硅片表面面形，可以進(jìn)一步估算殘余應(yīng)力。在這些情況下，物體表面的高度差別很小。同時(shí)，為防止破壞物體表面，面形重構(gòu)一般需要非接觸、無損等技術(shù)手段。光學(xué)測量方式是非接觸式無損測量物體表面高度的一個(gè)非常好...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。