技術(shù)編號：9198845
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。基于復(fù)合激光干涉的法線跟蹤式非球面測量方法與系統(tǒng)屬于表面形貌測量，特別涉及一種用于高數(shù)值孔徑、大曲率及具有小臺階特征的非球面元件表面形狀測量的超精密、高速干涉測量方法與系統(tǒng)。背景技術(shù)由于非球面具有更多的設(shè)計自由度，使得光學(xué)系統(tǒng)具有更大的靈活性，能夠校正像差、改善像質(zhì)、擴大視場，并使光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡化、重量減輕，因此在現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中得到了廣泛應(yīng)用，特別是在天文望遠鏡、深紫外光刻、激光武器光學(xué)系統(tǒng)、激光核聚變光學(xué)系統(tǒng)以及制導(dǎo)導(dǎo)彈的光學(xué)成像引導(dǎo)系統(tǒng)等高端。目前，非...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。