技術(shù)編號(hào)：9162474
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。壓力傳感器已成為工業(yè)生產(chǎn)、智能家居、環(huán)境保護(hù)等諸多領(lǐng)域必不可少的電子元器件之一，而在壓力傳感器中，壓力傳感器的芯片直接決定了壓力傳感器的工作性能。現(xiàn)有的壓力傳感器芯片通常通過測(cè)量壓力對(duì)芯片中的電阻阻值的影響進(jìn)而實(shí)現(xiàn)壓力的檢測(cè)，但現(xiàn)有的芯片結(jié)構(gòu)難以滿足極端環(huán)境下的工作需求，即其過壓性能并不理想。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶硅壓力傳感器芯片，其可顯著改善傳感器芯片的過壓特性與靜壓特性。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明涉及一種可改善工作性能的單晶硅壓力...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。