技術(shù)編號(hào)：8906864
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體納米材料與器件領(lǐng)域，特別是。背景技術(shù)隨著科技的發(fā)展和社會(huì)的進(jìn)步，人們對(duì)于信息存儲(chǔ)、傳遞及其處理的依賴(lài)程度日益增加。而半導(dǎo)體器件和工藝技術(shù)作為信息的存儲(chǔ)、傳遞及其處理的主要載體和物質(zhì)基礎(chǔ)，現(xiàn)已成為眾多科學(xué)家爭(zhēng)相研宄的熱點(diǎn)。薄膜晶體管，作為一種非常重要的半導(dǎo)體器件，在信息存儲(chǔ)、傳遞和處理等領(lǐng)域起著至關(guān)重要的作用。然而，截至目前為止，現(xiàn)有大規(guī)模使用薄膜晶體管，是一種基于微電子硅工藝的半導(dǎo)體器件。這種傳統(tǒng)的基于硅微電子工藝薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管存在對(duì)設(shè)備...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。