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一種波導(dǎo)對(duì)接耦合型吸收倍增分離雪崩二極管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8906832

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雪崩光電探測(cè)器(APD)通過雪崩倍增效應(yīng)產(chǎn)生內(nèi)部增益,具有高靈敏度和響應(yīng)度等特性,是光電探測(cè)器重要的研宄方向之一,在弱光檢測(cè),量子通信,生物醫(yī)學(xué)以及光通信集成系統(tǒng)等各類光信息檢測(cè)領(lǐng)域都有著廣闊的應(yīng)用。波導(dǎo)雪崩探測(cè)器突破了傳統(tǒng)垂直入射結(jié)構(gòu)探測(cè)器的光響應(yīng)與頻率響應(yīng)之間的相互制約,器件集成上具有尺寸小、集成度高的優(yōu)點(diǎn),而器件性能上具有更高的響應(yīng)度,更大的靈敏度以及更寬的頻率響應(yīng)范圍等特性優(yōu)勢(shì),因此,是未來光電集成系統(tǒng)發(fā)展的重要核心器件。吸收倍增分離型(Separ...
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