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用于反熔絲的編程燒錄電路的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8624270

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隨著反熔絲集成電路的廣泛應(yīng)用,反熔絲產(chǎn)品需求不斷加大。目前該類產(chǎn)品主要依靠進(jìn)口,為了打破這種國外壟斷的格局,申請人從2006年開始就開展了反熔絲技術(shù)研宄,并進(jìn)行了大量的工藝試驗,但反熔絲的燒錄的成功率和燒錄質(zhì)量一直是影響反熔絲集成電路質(zhì)量的重要因素,而反熔絲燒錄不足或者過分燒錄是影響反熔絲的燒錄的成功率和燒錄質(zhì)量的主要因素。其中,反熔絲燒錄不足是指燒錄后形成較大電阻和電容,影響電路時序特性,甚至造成邏輯錯誤,而過分燒錄是指不但燒錄了目標(biāo)反熔絲,而且其相鄰反...
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