技術(shù)編號：8423512
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 據(jù)全球電子化學(xué)品消費量最新統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，亞太地區(qū)尤其是中國，已成為全球 電子業(yè)及其化學(xué)品的主導(dǎo)市場。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，高純電子化學(xué)品需求量急 劇增長。高純電子級氨水作為其中的一種，在集成電路、LCD等制造行業(yè)中有著重要作用。 利用氨水的弱堿性，活化硅晶圓及微粒表面，可以去除其表面顆粒、部分金屬不純物。因此， 超高純氨水廣泛應(yīng)用于在芯片的清洗及蝕刻工藝。 目前，國內(nèi)生產(chǎn)廠商有采用間歇精餾法、膜過濾吸收法、樹脂過濾法等工藝制備高 純氨水。中國專利C...
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