技術(shù)編號(hào)：8380042
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在光刻機(jī)中，工件臺(tái)和掩模臺(tái)的微動(dòng)臺(tái)采用低剛性的重力補(bǔ)償裝置來(lái)支撐，可以 避免采用電機(jī)支撐造成的劇烈發(fā)熱，同時(shí)隔離傳遞到微動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)，提高微動(dòng)臺(tái)的定位精 度。 目前，采用的一種囊式重力補(bǔ)償裝置支撐的微動(dòng)臺(tái)，其包括氣室、活塞、支撐板和 氣動(dòng)閥，其中，所述氣室用于支撐所述活塞，所述支撐板用于支撐微動(dòng)臺(tái)，位于所述活塞上 方，并與所述活塞固定連接；所述氣動(dòng)閥與第一氣室相連通，調(diào)節(jié)第一氣室氣壓。該裝置具 有成本低、垂向高度低的優(yōu)點(diǎn)，但其水平向的剛度較大，存在以下技術(shù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。