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晶片抓取手臂的制作方法技術資料下載

技術編號:8341188

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微機電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)的制造工藝中,晶片是必不可少的器件之一,MEMS架構的構建過程中,通常需要對晶片進行多個工序的加工,大多數工序都需要對晶片進行抓取,目前,取晶片的手臂一般采用真空吸附的方式對晶片進行吸取,而深硅刻蝕后的晶片,被刻蝕的區(qū)域厚度低至20 μ m,由于厚度太小,真空會將晶片吸破,造成損失,并導致晶片檢測系統(tǒng)無法檢測到晶片。手臂伸至晶片架取晶片時,吸取位置在晶片的中間位置,由于晶...
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