技術編號：8331946
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 在微機電系統(tǒng)（MEMS，Micr〇-Electro_Mechanic System)中，通過細長梁支撐連接 位于襯底上方一定間隙的平板薄膜(簡稱主體橋面)，這種結構被稱為微橋結構。 在傳感器的應用中，微橋結構的主體橋面通常作為敏感單元，如熱敏微橋的主體 橋面的溫度變化通常通過電阻、電壓、機械位置等參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換為輸出信號，其中廣泛應 用的一種微橋結構，包括由兩種熱膨脹系數(shù)（CTE，Coefficient of Thermal Expansion) 不同的...
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