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溫度傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8323777

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本發(fā)明涉及一種溫度傳感器,該溫度傳感器為不易受到來自外部配線的熱傳導的 影響的薄膜型熱敏電阻溫度傳感器。背景技術(shù) 在溫度傳感器等中使用的熱敏電阻材料中,為了高精確度、高靈敏度,要求較高的 B常數(shù)。以往,作為這種熱敏電阻材料,通常使用Mn、Co、Fe等的過渡金屬氧化物(參考專利 文獻1及2)。并且,這些熱敏電阻材料中,為了獲得穩(wěn)定的熱敏電阻特性,需要進行600°C 以上的燒成。 并且,除了由如上述的金屬氧化物構(gòu)成的熱敏電阻材料之外,例如在專利文獻3 中提出...
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