技術(shù)編號(hào)：8279159
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。真空泵用于真空腔體中起到獲得、維持真空的作用。真空泵根據(jù)抽氣方式大致可分為抽氣型真空泵和吸收型真空泵。抽氣型真空泵主要是通過將真空腔體內(nèi)的氣體排出獲得或維持真空，吸收型真空泵主要通過將真空腔體內(nèi)的氣體捕集吸收以獲得或維持真空。吸收型真空泵主要有吸氣劑泵、濺射離子泵、低溫冷凝泵、鈦升華泵等。其中吸氣劑泵具有體積小、安裝靈活、功耗低、使用簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)。一些小型化、高價(jià)值、對(duì)真空要求嚴(yán)格的真空器件或氣體純化器件經(jīng)常需要使用吸氣劑泵。吸氣劑泵由吸氣劑發(fā)展而來。吸氣劑...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。