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透明體檢查方法及透明體檢查裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8255055

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本發(fā)明涉及一種透明體檢查方法及透明體檢查裝置,特別是,涉及一種在高溫環(huán)境下檢查板狀或薄膜狀透明體的透明體檢查方法及透明體檢查裝置。背景技術(shù)提出了對玻璃板等具有透明性的板狀體中是否存在缺陷區(qū)域進(jìn)行判斷的缺陷檢查系統(tǒng)(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。下面,對專利文獻(xiàn)I所記載的缺陷檢查系統(tǒng)進(jìn)行說明。專利文獻(xiàn)I所記載的缺陷檢查系統(tǒng)包括第一缺陷檢查裝置、第二缺陷檢查裝置、以及處理裝置。第一缺陷檢查裝置包括向具有透明性的板狀體照明的第一光源、集聚通過板狀體的透過光以拍攝亮視野...
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