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微波發(fā)生天線的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8185755

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種微波發(fā)生天線,具體地說(shuō)是一種用于激發(fā)等離子體的微波發(fā)生天線。背景技術(shù)隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)太陽(yáng)能電池片的質(zhì)量提出了越來(lái)越高的要求。等離子化學(xué)氣相沉積是電池片制造過(guò)程中的重要環(huán)節(jié),對(duì)太陽(yáng)能電池片的質(zhì)量和轉(zhuǎn)換效率有著很重要的影響,微波發(fā)生天線就是用來(lái)激發(fā)等離子的,其組合結(jié)構(gòu)能否保證微波發(fā)生天線配合面的緊密接觸,對(duì)等離子激發(fā)的穩(wěn)定性和質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用,目前市場(chǎng)上微波發(fā)生天線的天線棒和天線導(dǎo)管的結(jié)合采用直接插入的方式,在插入過(guò)程中,天線棒和天線導(dǎo)管之間因有間隙而有可能產(chǎn)生接觸不良,最終影...
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