技術(shù)編號(hào):8185755
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種微波發(fā)生天線,具體地說(shuō)是一種用于激發(fā)等離子體的微波發(fā)生天線。背景技術(shù)隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)太陽(yáng)能電池片的質(zhì)量提出了越來(lái)越高的要求。等離子化學(xué)氣相沉積是電池片制造過(guò)程中的重要環(huán)節(jié),對(duì)太陽(yáng)能電池片的質(zhì)量和轉(zhuǎn)換效率有著很重要的影響,微波發(fā)生天線就是用來(lái)激發(fā)等離子的,其組合結(jié)構(gòu)能否保證微波發(fā)生天線配合面的緊密接觸,對(duì)等離子激發(fā)的穩(wěn)定性和質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用,目前市場(chǎng)上微波發(fā)生天線的天線棒和天線導(dǎo)管的結(jié)合采用直接插入的方式,在插入過(guò)程中,天線棒和天線導(dǎo)管之間因有間隙而有可能產(chǎn)生接觸不良,最終影...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。