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控制使用光電檢測(cè)器計(jì)時(shí)的共振掃描反射鏡的偏轉(zhuǎn)幅度和偏移的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7984448

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)反射鏡,尤其涉及僅用激光光束偏轉(zhuǎn)計(jì)時(shí)來(lái)控制共振掃描鏡的方法。背景技術(shù)在僅給定光束偏轉(zhuǎn)計(jì)時(shí)信息的情況下,在MEMS反射鏡技術(shù)領(lǐng)域中需要而且最好是提供一種技術(shù)用于控制振動(dòng)鏡式檢流計(jì)(galvanometer)偏轉(zhuǎn)的激光束的偏轉(zhuǎn)幅度和偏移。發(fā)明概述本發(fā)明針對(duì)在僅給定光束偏轉(zhuǎn)計(jì)時(shí)(timing)信息的情況下,用于控制由振動(dòng)鏡式檢流計(jì)偏轉(zhuǎn)的激光束的偏轉(zhuǎn)幅度和偏移(offset)的系統(tǒng)和方法。根據(jù)一實(shí)施例,控制共振掃描鏡的方法包括以下步驟根據(jù)共振掃描鏡的移動(dòng)測(cè)量與由共振掃描鏡偏轉(zhuǎn)的激...
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