技術(shù)編號(hào)：7566158
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)投影系統(tǒng)，更具體地涉及用在該系統(tǒng)中的M×N薄膜驅(qū)動(dòng)反射鏡陣列及其制造方法。在本技術(shù)中可資利用的各種視頻顯示系統(tǒng)中，光學(xué)投影系統(tǒng)是已知能提供大規(guī)模高質(zhì)量顯示的。在這種光學(xué)投影系統(tǒng)中，燈光均勻地照射在一個(gè)諸如M×N驅(qū)動(dòng)反射鏡的陣列上，其中各反射鏡與各驅(qū)動(dòng)器相連。這些驅(qū)動(dòng)器可用電致位移材料制成，諸如壓電或電致伸縮材料，它們根據(jù)作用在其上的電場(chǎng)而變形。各反射鏡反射的光束入射在諸如光學(xué)隔板等的一個(gè)小孔上。通過(guò)在各驅(qū)動(dòng)器上作用一個(gè)電信號(hào)，便改變了各反射鏡...
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