技術(shù)編號：7261716
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種反熔絲結(jié)構(gòu)，包括半導(dǎo)體襯底；柵極結(jié)構(gòu)，位于所述在STI上；接觸孔陣列，位于所述STI上，與所述柵極結(jié)構(gòu)并列且間隔設(shè)置；所述反熔絲結(jié)構(gòu)為由所述柵極結(jié)構(gòu)和所述接觸孔陣列形成的夾心結(jié)構(gòu)，所述夾心結(jié)構(gòu)的外側(cè)接地或者電源負(fù)極，在所述夾心結(jié)構(gòu)中間施加編程電壓。本發(fā)明所述反熔絲結(jié)構(gòu)包括間隔設(shè)置的接觸孔陣列和柵極結(jié)構(gòu)，所述接觸孔陣列和柵極結(jié)構(gòu)形成夾心結(jié)構(gòu)，在施加電壓情況下可以將接觸孔陣列和柵極結(jié)構(gòu)中間的介質(zhì)層（即柵的側(cè)墻）擊穿，完成對所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。隨...
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