技術(shù)編號：7258508
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，包括面積大于1m2的石墨材料制成的托盤和用于將所述托盤在真空環(huán)境中進行傳送的機械手臂，所述機械手臂的上表面設(shè)置有若干用于承載所述托盤的支撐件，其特征在于在所述支撐件和所述托盤之間設(shè)置有接觸材料，所述支撐件通過所述接觸材料來間接承載所述托盤。本發(fā)明通過在設(shè)置于機械手臂的支撐件與托盤之間增加接觸材料的方法，增大托盤與支撐件之間的摩擦力，避免二者之間的相對運動，從而提高大型托盤在真空環(huán)境的傳輸速度。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及在真空環(huán)境中的...
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