技術(shù)編號：7233163
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在集成電路的生產(chǎn)中在半導(dǎo)體晶片結(jié)構(gòu)上的電路圖案的蝕刻，確切地 是它涉及在微機電系統(tǒng)(“MEMS”)的生產(chǎn)中在結(jié)構(gòu)上的深槽的蝕刻。MEMS涉及非常小的物品(例如，通常大小在從微米到毫米范圍的機器)的技術(shù)。 遠(yuǎn)在該技術(shù)存在之前人們就認(rèn)識到了非常小的機器的潛力。常見的應(yīng)用包括用壓電體或熱 氣泡噴射來操作的噴墨打印機、汽車中的加速計(例如用于碰撞時氣囊的打開)、陀螺儀、 硅壓力傳感器(例如用于監(jiān)控汽車輪胎或血壓)、光控開關(guān)技術(shù)、或在醫(yī)藥和健康相關(guān)的技 術(shù)...
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