亚洲狠狠干,亚洲国产福利精品一区二区,国产八区,激情文学亚洲色图

T型多晶硅柵電極的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7230506

提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造中。 背景技術(shù)半導(dǎo)體器件的集成度提高,要求器件具備更短的響應(yīng)時間,更大的驅(qū) 動開啟電流,因此,多晶硅柵極的尺寸也必須持續(xù)的縮小。為了減輕日益 縮小的柵極尺寸對于光刻,刻蝕工藝的壓力,刻蝕的程序被進(jìn)一步調(diào)整, 形成T型多晶硅柵電極,通過縮小多晶硅柵電極底部線寬尺寸,實現(xiàn)減小 實際的溝道長度,從而滿足器件的需求。另外,半導(dǎo)體器件制備過程中的 柵極刻蝕制備, 一般采用正性光刻膠和柵極掩膜版來實現(xiàn)。常見的T多晶 硅柵電極的制備工藝流程如...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請聯(lián)系客服
  • 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
  • 楊老師:工程電磁場與磁技術(shù),無線電能傳輸技術(shù)
  • 許老師:1.氣動光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測 3.故障診斷和健康管理
  • 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
  • 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場理論
  • 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計實踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實踐
  • 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測 2.局部放電在線監(jiān)測及模式識別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
  • 王老師:1.無線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)