技術(shù)編號(hào):7210923
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路用硅拋光片的低溫?zé)崽幚砉に?,以消除硅片表?水霧"而避免硅片被重新清洗、甚至再次拋光。背景技術(shù)隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,光刻的特征線寬越來(lái)越小,人們對(duì)硅片表面小直徑的顆粒的控制也越來(lái)越嚴(yán)格。表面顆粒是已經(jīng)硅片制造過(guò)程中一項(xiàng)重要的控制參數(shù),為保證硅片表面顆粒,硅片在經(jīng)過(guò)拋光后要在超凈環(huán)境下清洗、檢測(cè),然后密封包裝。但是在硅片的儲(chǔ)存、運(yùn)輸過(guò)程中,外包裝的泄露或者封裝前由于環(huán)境濕度過(guò)大,導(dǎo)致硅片表面吸附空氣中的水汽,而在硅片表面凝結(jié),在激光顆粒...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。- 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
- 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線電能傳輸技術(shù)
- 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
- 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
- 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
- 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
- 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
- 王老師:1.無(wú)線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)