技術(shù)編號(hào)：7178167
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于清洗外管的洗管機(jī)。 背景技術(shù)半導(dǎo)體制造工藝車間，爐管區(qū)低壓管機(jī)臺(tái)的外管在每次維護(hù)(PM)后，需要清洗干凈，以備下次維護(hù)使用。請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的用于清洗外管的洗管機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有的用于清洗外管1的洗管機(jī)包括旋轉(zhuǎn)軸2和左、右擋板條3，所述旋轉(zhuǎn)軸2帶動(dòng)所述外管1轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條3設(shè)置在所述外管1的兩端以防止外管1滑落。在一個(gè)維護(hù)周期內(nèi)，密封用的橡膠0型圈和外管底部11在一定的高溫和低壓條件下長時(shí)間貼合...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。