技術編號：7165011
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體生產，特別是指一種圖形化襯底制備工藝。 背景技術當前基于氮化鎵基發(fā)光二極管(LED)的半導體照明技術正在向社會生活的各個方面滲透，如景觀照明，特種照明，以及液晶背光源照明等。但是由于三族氮化物固有的缺陷多，位錯密度大，材料質量差等問題，其亮度還有待于進一步提高從而進入通用照明領域， 重點是提高GaN基LED的內量子效率及光提取效率。藍寶石是當前主要的商業(yè)化應用的GaN基LED生長襯底，但是由于藍寶石和GaN 材料的晶格與熱膨脹系數差異大，導...
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