技術(shù)編號：7162021
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及設(shè)有觸接墊(pad)的半導(dǎo)體裝置，具體涉及設(shè)有在半導(dǎo)體元件的電學(xué)特性檢查或測量時用于使端子觸接的觸接墊的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 當(dāng)在晶片狀態(tài)下檢查半導(dǎo)體元件的電學(xué)特性時，使用配置多個探針的探針插件。作為這種探針插件，例如有在特開平1-128535號公報上公開的一例。在電學(xué)特性性檢查時，通過把探針插件的探針壓接到所述觸接墊上來將半導(dǎo)體元件與測試儀導(dǎo)通。探針不與觸接墊的表面垂直，而是以某個角度相觸接。因此，在探針與觸接墊觸接之后，通過使晶片再次向探針插...
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