技術(shù)編號(hào)：7145442
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及拉曼激光器，特別是一種產(chǎn)生157nm激光的拉曼激光器，利用拉曼頻移效應(yīng)產(chǎn)生157nm高光束質(zhì)量激光輸出的激光器。背景技術(shù)在光刻技術(shù)中，157nm波長的激光輸出是下一代光刻技術(shù)的關(guān)鍵。在先技術(shù)中，157nm激光是由氟分子準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的。而氟分子準(zhǔn)分子激光器設(shè)備笨重、成本高，運(yùn)行成本高，嚴(yán)重的影響了157nm光刻技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是要克服現(xiàn)有氟分子準(zhǔn)分子激光器設(shè)備笨重和成本高的缺點(diǎn)，提供一種157nm拉曼激光器，該激光器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。