技術編號：7134696
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種激光輻照方法和使用該方法的激光輻照設備(激光輻照設備包括激光振蕩器和將從激光振蕩器發(fā)射的激光束引導至被輻照物體的光學系統(tǒng))。而且，本發(fā)明涉及一種用于制造半導體器件的方法，該方法包括通過激光束輻照的結晶化、激活、加熱等的步驟。應當注意，半導體器件包括電光器件，例如液晶顯示器、發(fā)光器件等，以及具有將電光器件作為其部件的電子設備。背景技術 近年來，已經進行了涉及結晶化無定形半導體膜以便形成具有晶體結構的半導體膜(此后稱為結晶半導體)的技術的研究，無...
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