技術(shù)編號：7108957
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體場效應晶體管器件的制備方法，尤其涉及一種碳納米管場效應晶體管及其制備方法。背景技術(shù)ニ維網(wǎng)絡狀的碳納米管(CNT)由于其具有很好的傳輸特性及有望在電子器件如場效應晶體(TFT)和化學傳感方面發(fā)揮重要作用，近年來備受廣大人們的關(guān)注。為了更好地使其在電子器件方面的發(fā)揮作用，因此制備質(zhì)量好的ニ維交聯(lián)網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)碳納米管薄膜具有非常重要的意義。 目前，用于制備ニ維網(wǎng)絡狀的碳納米管薄膜的方法主要有干法和濕法兩種，干法主要是指CVD法，這種方法通常需要較高的...
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