技術(shù)編號：7037533
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種低成本的，其可高效制造具有紋理結(jié)構(gòu)的硅基板，所述的紋理結(jié)構(gòu)有效發(fā)揮防止光散射的效果，并在之后工序中形成規(guī)定的薄膜時也可覆蓋良好地成膜。包含第一工序，其向配置了硅基板(W)的減壓下的成膜室(12)內(nèi)，導(dǎo)入含有含氟氣體、含鹵氣體和氧氣的第一蝕刻氣體，施加放電用電力蝕刻硅基板表面；以及第二工序，其向配置了已在第一工序中蝕刻完了的硅基板的、減壓下的成膜室內(nèi)，導(dǎo)入含有含氟氣體的第二蝕刻氣體，施加放電用電力，進(jìn)一步蝕刻硅基板表面。專利說明 [000...
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