技術(shù)編號(hào):7006626
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種傳感器器件,所述傳感器器件包括承載感測(cè)元件的基板以及在所述基板上用于為所述感測(cè)元件提供互連的金屬化堆疊。本發(fā)明還涉及一種制造這種傳感器器件的方法。背景技術(shù)由于半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,在集成于單片電路中的傳感器的感測(cè)表面上檢測(cè)單個(gè)捕獲事件變得可行。在PCT專(zhuān)利申請(qǐng)W02009/047703中公開(kāi)了這種傳感器的示例,其中,捕獲分子形成電容器的絕緣層,電容器的基板分別由導(dǎo)電感測(cè)表面和流體樣品(sample)形成。 捕獲事件引起絕緣層的介電常數(shù)的變化,介電...
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