技術(shù)編號(hào):7000932
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器領(lǐng)域,尤其涉及一種。背景技術(shù)硅不僅是一種電子材料,還是一種光子材料。非常成熟的微電子加工工藝已經(jīng)為硅光子學(xué)提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支持,大大加速了硅光子學(xué)的形成和發(fā)展。在過(guò)去的數(shù)十年中, 硅加工能力早已經(jīng)進(jìn)入小于光波波長(zhǎng)的亞微米范圍,并正向納米尺度范圍發(fā)展。硅納米光子學(xué)正在并已經(jīng)成為當(dāng)今最為激動(dòng)人心的嶄新的前沿領(lǐng)域。硅納米光子學(xué)在比波長(zhǎng)還要短的納米范圍內(nèi)處理光與物質(zhì)的相互作用,創(chuàng)造了足以令人振奮的機(jī)會(huì)并使新技術(shù)的發(fā)展成為可能。硅納米線由...
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