技術(shù)編號:6946525
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有有機(jī)薄膜晶體管的半導(dǎo)體裝置以及它的生產(chǎn)方法。 背景技術(shù)現(xiàn)在,采用用于在具有絕緣表面的基底上形成的半導(dǎo)體薄膜(厚度為約幾納米至 幾百納米)構(gòu)成薄膜晶體管(TFT)的技術(shù)引起了人們的注意。薄膜晶體管已經(jīng)被廣泛到電 子裝置例如IC和電子光學(xué)裝置上。特別是,薄膜晶體管已經(jīng)被迫切地開發(fā)為顯示裝置的開 關(guān)元件。對TFT中使用有機(jī)半導(dǎo)體(在下文中,被稱為“有機(jī)TFT”)的薄膜晶體管的研究 正在進(jìn)行中。由于使用了有機(jī)材料,有機(jī)TFT具有優(yōu)良的柔韌性。另外,與...
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