技術(shù)編號：6930112
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造工藝，特別是涉及一種CoolMOS的制造工藝。 背景技術(shù)CoolMOS是一種新型的高壓MOS管，又稱超級結(jié)(Superjunction)MOS管。其優(yōu)點 是在耐高壓工作的同時可以提供比傳統(tǒng)高壓MOS管小一個數(shù)量級的導(dǎo)通電阻；除低導(dǎo)通電 阻外，還具有低功耗和低開關(guān)時間的優(yōu)勢。請參閱圖1，這是CoolMOS的基本結(jié)構(gòu)示意圖。在重?fù)诫sN型硅襯底10上生長有 一層輕摻雜N型外延層11，外延層11內(nèi)具有P型縱向區(qū)12。該P型縱向區(qū)12上...
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