技術(shù)編號(hào)：6901364
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種紫外線照射處理裝置。尤其是涉及使用準(zhǔn)分子燈 的紫外線照射處理裝置，該紫外線照射處理裝置在半導(dǎo)體基板或液晶 基板等的制造工序中用于半導(dǎo)體基板或液晶基板的清潔等。背景技術(shù)在最近的半導(dǎo)體基板或液晶基板等的制造工序中，作為除去在半 導(dǎo)體基板即硅晶片或液晶基板即玻璃基板表面附著的有機(jī)化合物等污 垢的方法，廣泛利用使用紫外光的干式清潔方法。尤其是，在使用從 準(zhǔn)分子燈放射的真空紫外光的利用臭氧、活性氧的清潔方法中，提出 了各種更有效地以短時(shí)間清潔的清潔裝置...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。