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一種監(jiān)控片的重復(fù)利用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6897864

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片工藝,特別是 。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓代工行業(yè),中東流注入機(jī)用于向監(jiān)控片注入適量的離子,以 制造符合需求的半導(dǎo)體器件。為了確保離子注入劑量符合要求,需要釆用監(jiān)控片進(jìn)行離子注入劑量的監(jiān)控,即將監(jiān)控片通過(guò)中東流注入機(jī),之后測(cè)試監(jiān)控 片(Monitor wafer)的表面損傷程度,即熱波(TW, Thermal Wave )值,來(lái)判斷離子注入的劑量是否符合要求。監(jiān)控片經(jīng)過(guò)離子注入后,會(huì)產(chǎn)生晶格損傷, 因此,在現(xiàn)有技術(shù)中,監(jiān)控片使用過(guò)一次即降級(jí)...
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