技術(shù)編號:6897733
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導體器件,特別是指一種GaN基日盲型紫外探 測器面陣及其制作方法。背景技術(shù)紫外探測技術(shù)在軍事和民用等方面都有著廣泛的應(yīng)用。軍事上,在導 彈預(yù)警、飛行器制導、秘密通信、生化武器探測等領(lǐng)域中都有著重要的應(yīng) 用價值;民用上,在明火探測、生物醫(yī)藥分析、臭氧監(jiān)測、海上油監(jiān)、太 陽照度監(jiān)測、公安偵察等方面都有著紫外探測器的需求。特別是當響應(yīng)波 段處于200 280nm時,由于臭氧層強烈的吸收作用,使得該波段的紫外線 不能到達地面,從而形成"日盲區(qū)(也稱為太...
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