技術(shù)編號：6890950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及表面發(fā)射半導體激光器、用于制造表面發(fā)射半導體激光 器的方法、模塊、光源裝置、數(shù)據(jù)處理裝置、光發(fā)送裝置、光學空間傳 輸裝置和光學空間傳輸系統(tǒng)。背景技術(shù)在諸如光通信或光存儲的中，對表面發(fā)射半導體激光器，即垂直腔表面發(fā)射激光器(下文中稱為VCSEL)的關(guān)注正在增長。VCSEL 具有邊緣發(fā)射半導體激光器所不具備的卓越特性。例如，VCSEL有低閾 值電流和小功耗的特征。藉由VCSEL，可以容易地獲得圓形光斑，可以 當VCSEL在晶片上時進行評價，并且光源可...
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