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利用激光熔化對晶片接合Al的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6877280

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由國防高級研究計劃局授權(quán),協(xié)議號為MDA972-96-3-0014,通過政府支持獲得本發(fā)明。聯(lián)邦政府對本發(fā)明享有某些權(quán)利。本發(fā)明涉及光發(fā)射領(lǐng)域,特別涉及提供ALxGayInzN器件兩側(cè)面的高質(zhì)量反射表面。垂直諧振腔光電結(jié)構(gòu)包括有源區(qū),有源區(qū)由可能被摻雜的,沒摻雜的,或包含p-n結(jié)的插入限制層的光發(fā)射層形成。該結(jié)構(gòu)至少包括一個反射鏡,反射鏡在垂直光發(fā)射層的方向形成Fabry-Perot諧振腔。在GaN/ALxGayInzN/ALxGa1-xN(其中,在ALx...
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