技術(shù)編號：6806531
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在絕緣襯底，諸如玻璃之類上設(shè)置TFF(薄膜晶體管)的半導(dǎo)體器件以及制造該半導(dǎo)體器件的方法。由于半導(dǎo)體器件具有在絕緣的由玻璃之類制作的襯底上形成的TFT，眾所周知的有有源液晶顯示器件、圖象傳感器之類，都用TFF來驅(qū)動象素。通常采用薄膜硅半導(dǎo)體做這些器件的TFT。薄膜硅半導(dǎo)體大致分成非晶硅半導(dǎo)體(α-Si)型和結(jié)晶硅半導(dǎo)體型。非晶硅半導(dǎo)體因制造溫度低，最為常用，用汽相法相當(dāng)容易地制造它，且能批量生產(chǎn)。然而，因非晶硅半導(dǎo)的物理特性例如電導(dǎo)率之類不如結(jié)晶...
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