技術(shù)編號:6466001
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域,具體涉及。背景技術(shù)現(xiàn)在各種工業(yè)場合和設(shè)備中使用的傳感器數(shù)量和種類越來越多,傳感器作 為信息獲取的源頭,其測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性對系統(tǒng)有至關(guān)重要的影響。在很多應(yīng)用場合,往往需要同時檢測多個物理量,例如在礦井中經(jīng)常需要 同時監(jiān)測溫度、濕度和甲烷等,防止發(fā)生危險,在潛艇等密閉環(huán)境中常需要監(jiān) 測溫度、濕度、風(fēng)速、 一氧化碳等,保證工作環(huán)境安全。隨著技術(shù)的進(jìn)步,傳感器逐漸向多參數(shù)傳感器方向發(fā)展。將幾個敏感元件 集成在一起或在同一材料上制造幾個敏感元...
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