技術(shù)編號：6248912
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種表面輪廓的測量裝置，所述表面輪廓的測量裝置包括用于承載被測量工件或測量工件夾具的平臺、安裝于所述平臺上的支撐組件、活動安裝于所述支撐組件上的運(yùn)動裝置、安裝于所述運(yùn)動裝置上的測量部件、安裝于所述支撐組件上用于驅(qū)動所述運(yùn)動裝置運(yùn)動的驅(qū)動裝置、連接所述驅(qū)動裝置與所述運(yùn)動裝置的連接裝置、及設(shè)于所述驅(qū)動裝置與所述運(yùn)動裝置之間的氣流限制構(gòu)件，所述氣流限制構(gòu)件用于阻止氣流由所述驅(qū)動裝置流動至所述運(yùn)動裝置、測量部件及被測量工件。本發(fā)明通過在運(yùn)動裝置與驅(qū)動裝置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。